高純氣體供應設備 位置:網站首頁>>產品中心 >>高純氣體供應設備
氣瓶柜 Gas Cabinet
腐蝕性,毒性,可燃性,自然性氣體使用的氣體放置于管理設備。氣瓶柜標準配置減壓裝置,自動切換,自動吹掃,真空發生器,終端過濾器,緊急切斷,泄漏偵測,噴淋稀釋,緊急關斷,抽風故障報警,伴熱,供應壓力監測等自動安全裝置。


標準配置
單瓶柜(1 工藝鋼瓶)
雙瓶柜 (1 工藝鋼瓶 + 1 吹掃N2鋼瓶)
雙瓶柜 (2 工藝鋼瓶)
三瓶柜(2 工藝鋼瓶, 1 吹掃N2鋼瓶)



特殊配置
大流量BSGS供應系統 (NH3 2000L)
TMA 供應系統
TEOS 供應系統
DEZ供應系統
TCS / DCS 供應系統
高精度氣體混配系統