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槽車+CCB+儲罐/日用罐+CDM 供應系統


原液存放于槽車,經過槽車填充柜(CCB)輸送到儲存罐。再由供液設備將高純化學品輸送到日用罐。運行時供液柜把日用罐中的化學品經由VMB分配到各個用點。
所有組件全部安裝在設備內部。
流量,用量,壓力,液位等全方位自動監控連鎖。確保穩定可靠的供液。
上位機采集歷史消耗數據,給出可靠的充液,換桶提示。


用戶現場實景照片

用戶現場實景照片



用戶現場實景照片



高精度化學品調配+供應系統
25% TMAH (原液)
2.38% TMAH (±0.01%精度)
0.4% TMAH( ±0.05%精度)


25% TMAH存放于原液罐。
通過調配柜配制成高精度2.38%濃度儲存于日用罐。
高精度的在線式濃度計檢測確保精度。
高精度溫度檢測來補償溫度對于濃度的影響。
獨立的調配系統,獨立的供應系統,獨立的過濾和濃度監控系統。
高潔凈度的無死角的取樣系統,確保離線檢測的可靠性。
遠程監控系統,實時監控濃度曲線。
可選:雙在線濃度監控。
可選:原液品質在線監控。
可選: 高精度流量監控。
可選:終端用點溫度,濃度補償。