槽式濕法設備 位置:網站首頁>>產品中心 >>槽式濕法設備

隨著半導體芯片應用面的應用越趨廣泛,除了計算機及網路通信等先進工藝外,近年來隨著汽車電子、工業控制、電源管理、功率器件等特色工藝應用也隨之興起。
工藝技術節點也分化成28納米以及14nm等先進工藝等級,以及特色工藝65nm~0.8um兩種; 依據工藝不同,槽式設備工藝也需要依據工藝需求來選擇合適的清洗設備;并且兼顧降低晶圓清洗成本和兼顧環境保護;

  • 高處理性能
  • 良好的設備穩定性;
  • 金屬、材料及微粒子的交叉污染 ;
  • 高生產率
  • 合理的價格

槽式濕法設備的工藝應用

  • 去膠及去膠后清洗
  • 爐管及長膜前清洗
  • 氧化層/氮化硅蝕刻
  • 銅/鈦金屬蝕刻  

槽式濕法的亮點

  • 可以提供完整的濕法工藝解決方案,及前瞻的技術規劃。
  • 設備及工藝已經通過國際一線大廠的驗證。
  • 設備依據客戶需求量身定做,可滿足客戶不同條件。
  • 良好的設備穩定性;
  • 金屬、材料及微粒子的交叉污染 ;
  • 高生產率;
  • 合理的價格

ULTRON B2XX/B3XX
設備平臺: ULTRON B-Series
晶圓尺寸: 200mm/300mm, 
相關技術: 全自動槽式濕法清洗 適用制程: 晶體管, 連接體, 圖形化, 先進內存, 封裝

槽式濕法設備的規格,完全依據客戶的需求所量身定做

秋霞影院国产片在半導體的高純工藝領域耕耘10年,已經累積一大批優質用戶,如和輝、華力、中芯國際、長鑫(睿力)、海力士等一批重點項目。過去幾年客戶強烈希望至純將產品及服務延伸的設備領域;
2015年上海市長以及副市長分別來到秋霞影院国产片參觀考察,并鼓勵至純能繼續在半導體、微電子等領域有更好的科研技術,發揮更大的作用,做出更大的貢獻。至純在此背景以及響應國家半導體、電子行業的國產化政策下;開啟濕法設備的研發項目,開始與關國家重點院校和實驗室積極對接,成立研發團隊及項目;
2016年設立院士工作站,針對用戶在生產和研發過程中提出的特殊需要開展相關的研發工作,相關的研發項目均是針對公司核心業務相關,圍繞高純工藝與濕法清洗設備,目前均在穩步進行中。           
2017年成立全資子公司(至微),負責濕法清洗設備的研發和制造。至純也極吸引包含臺灣、馬來西亞、韓日本等各方高端人才。同時未來也藉由至純的實驗室及工作站,與國家重點院校積極培育性半導體人才;期望2020年能與國際接軌及競爭。