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  • 特氣供應設備-氣瓶柜 GC

    -氣瓶柜 Gas Cabinet 腐蝕性,毒性,可燃性,自然性氣體使用的氣體放置于管理設備。氣瓶柜標準配置減壓裝置,自動切換,自動吹掃,真空發生器,終端過濾器,緊急切斷,泄漏偵測,噴淋稀釋,緊急關斷,抽風故障報警,伴熱,供應壓力監測等自動安全裝置。

  • 特氣供應設備- 大宗氣體供應系統(BSGS)

    -大宗氣體供應系統(BSGS)是為大流量供應和大供應量氣源而專門設計的,適用于T型氣體鋼瓶,Y型氣體鋼瓶,鋼瓶集束或管式 拖車,氣源經過減壓、過濾后輸送到下一級設備,輸送過程中基本不影響氣源的純度和水氧含量。

  • 特氣供應設備- 分流柜/盤 VMB/VMP

    秋霞影院国产片-特氣分流閥箱(VMB)是為氣源分流而專門設計的,適用于一路或多路氣源供應多路用氣設備,輸送過程中基本不影響氣源的純度和水氧含量。單支路出口氣動閥控制設計使單路實現緊急切斷時不影響其他管路的正常運行,最大程度保障生產的正常運行。

  • 特氣供應設備- 特殊(低沸點)氣體供應柜

    秋霞影院国产片-特殊(低沸點)氣體供應系統: TMA: PNC的TMA供應系統廣泛應用于多機臺晶圓背鈍化工藝 POCl3:應用于擴散沉積 DEZn: P型摻雜源,運用于MOCVD生長 TEOS: 運用于LPCVD技術,以實現二氧化硅在SiC晶片表面的淀積。 DCS/ TCS:應用于化學氣相沉積 多氣體高精度混配設備。

  • 全自動集中高純供液柜

    秋霞影院国产片-化學品集中供液設備CDM 腐蝕性,毒性,可燃性等危險液態化學品的放置與管理設備。 化學品供應柜一般配置泵,穩壓器,過濾器,氣液分離器。具備自動切換,緊急切斷,泄漏偵測,負壓故障報警,壓力監測及相關報警安全連鎖所必須的設施。有機化學品系統配置自動滅火系統,高溫報警連鎖等專用安全裝置。

  • 高純化學品調配柜

    秋霞影院国产片-高精度化學品調配柜 25% TMAH (原液) 2.38% TMAH (±0.01%精度) 0.4% TMAH( ±0.05%精度)

  • 化學品設備- 分流箱 VMB

    秋霞影院国产片-化學品設備- 分流箱 VMB

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