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  • 槽式濕法設備

    槽式濕法設備的工藝應用 去膠及去膠后清洗 爐管及長膜前清洗 氧化層/氮化硅蝕刻 銅/鈦金屬蝕刻 ULTRON B2XX/B3XX 設備平臺: ULTRON B2/3XX 晶圓尺寸: 200mm/300mm, 相關技術: 全自動槽式濕法清洗 適用制程: 晶體管, 連接體, 圖形化, 先進內存, 封裝

  • 單片式濕法設備

    單片式濕法設備的工藝應用 去膠及去膠后清洗 爐管及長膜前清洗 氧化層/氮化硅蝕刻 銅/鈦金屬蝕刻 聚合物去除 擦片清洗 化學機械研磨后清洗 ULTRON S2XX/S3XX 設備平臺: ULTRON S2/3XX 晶圓尺寸: 200mm/300mm, 相關技術: 全自動單片式濕法清洗 適用制程: 晶體管, 連接體, 圖形化, 先進內存, 封裝

  • 特氣供應設備-氣瓶柜 GC

    -氣瓶柜 Gas Cabinet 腐蝕性,毒性,可燃性,自然性氣體使用的氣體放置于管理設備。氣瓶柜標準配置減壓裝置,自動切換,自動吹掃,真空發生器,終端過濾器,緊急切斷,泄漏偵測,噴淋稀釋,緊急關斷,抽風故障報警,伴熱,供應壓力監測等自動安全裝置。

  • 特氣供應設備- 大宗氣體供應系統(BSGS)

    -大宗氣體供應系統(BSGS)是為大流量供應和大供應量氣源而專門設計的,適用于T型氣體鋼瓶,Y型氣體鋼瓶,鋼瓶集束或管式 拖車,氣源經過減壓、過濾后輸送到下一級設備,輸送過程中基本不影響氣源的純度和水氧含量。

  • 特氣供應設備- 分流柜/盤 VMB/VMP

    秋霞影院国产片-特氣分流閥箱(VMB)是為氣源分流而專門設計的,適用于一路或多路氣源供應多路用氣設備,輸送過程中基本不影響氣源的純度和水氧含量。單支路出口氣動閥控制設計使單路實現緊急切斷時不影響其他管路的正常運行,最大程度保障生產的正常運行。

  • 特氣供應設備- 特殊(低沸點)氣體供應柜

    秋霞影院国产片-特殊(低沸點)氣體供應系統: TMA: PNC的TMA供應系統廣泛應用于多機臺晶圓背鈍化工藝 POCl3:應用于擴散沉積 DEZn: P型摻雜源,運用于MOCVD生長 TEOS: 運用于LPCVD技術,以實現二氧化硅在SiC晶片表面的淀積。 DCS/ TCS:應用于化學氣相沉積 多氣體高精度混配設備。

  • 全自動集中高純供液柜

    秋霞影院国产片-化學品集中供液設備CDM 腐蝕性,毒性,可燃性等危險液態化學品的放置與管理設備。 化學品供應柜一般配置泵,穩壓器,過濾器,氣液分離器。具備自動切換,緊急切斷,泄漏偵測,負壓故障報警,壓力監測及相關報警安全連鎖所必須的設施。有機化學品系統配置自動滅火系統,高溫報警連鎖等專用安全裝置。

  • 高純化學品調配柜

    -高精度化學品調配柜 25% TMAH (原液) 2.38% TMAH (±0.01%精度) 0.4% TMAH( ±0.05%精度)

  • 化學品設備- 分流箱 VMB

    -化學品設備- 分流箱 VMB

  • 高純特氣輸送系統解決方案

    秋霞影院国产片--秋霞影院国产片的超高純氣體輸送系列解決方案,關注從氣源到使用點,再到尾氣處理的每一個環節,設計、制造、現場安裝調試到運行管理和維護保養等。解決方案實現安全穩定、無污染、滿足工藝制程要求的供應,是產線良率保障的關鍵系統之一。同時,滿足工藝也兼顧環保達標排放。

  • 高純化學品輸送系統解決方案

    -秋霞影院国产片化學品輸送系統工程保證的可靠性—全部重要組分都測試可靠性,在化學品輸送到FAB是保證99.5%時間正常運行。為了方便檢修,所有閥門數量和過濾器改變點被預編程序。

  • 工藝機臺二次配

    秋霞影院国产片-秋霞影院国产片工藝及廠務二次配工程:從主系統預留閥(Take off Valve)接至工藝機臺(Tools)的工藝配管工程。

  • GMS 偵測控制管理系統

    - GMS 偵測控制管理系統

  • 工藝介質回收及處理系統

    秋霞影院国产片-秋霞影院国产片的超高純氣體及化學品輸送系列解決方案,關注從氣到使用點,再到尾氣(液)處理的每一個環節,在滿足工藝同時深度關注減排和環保的問題,至純為用戶提供回收及處理的專項解決方案。

  • 數字化生產系統

    秋霞影院国产片-PNC Smart Manufacturing Solutions 依托PNC特有的系統平臺,和我們在制造業、物聯網領域的多年積累,我們以客戶現場執行行為管理為核心架構了: PNC Smart Manufacturing Solutions 應用系統,為客戶提供最佳適用性和價格比的總體方案設計。 智能制造建設目標 實時分析,自主決策,智能控制,持續改善

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